• 低成本微流控芯片的加工與鍵合方法（下）是同類、同厚度材料，特殊用途時也可對不同類型和厚度的材料進(jìn)行鍵合。不同于超凈間內(nèi)使用精密儀器設(shè)備完成的硅、玻璃芯片間的鍵合，近年來,研究者提出了各類低...2024-07-23 09:39:21
• 低成本聚合物微流控芯片加工技術(shù)ip)。初期的微流控芯片加工技術(shù)完全繼承自MEMS加工技術(shù)，步驟都需要在超凈間內(nèi)使用精密微加工設(shè)備完成，芯片的設(shè)計加工成本非常高昂，嚴(yán)重阻礙了其在分析...2024-07-16 09:53:20
• 微流控芯片制作的環(huán)境要求超凈間:超凈間(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。「超凈間」是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)的溫...2023-03-01 09:23:43
• 低成本微流控芯片鍵合技術(shù)是同類、同厚度材料，特殊用途時也可對不同類型和厚度的材料進(jìn)行鍵合。不同于超凈間內(nèi)使用精密儀器設(shè)備完成的硅、玻璃芯片間的鍵合，近年來，研究者提出了各類低...2022-09-01 08:51:17
• PDMS-玻璃鍵合芯片完整工藝烘、曝光、后烘、顯影和堅膜，主要的工藝流程如圖 2 所示。本文的陽膜是在超凈間內(nèi)制作完成，其中所用的主要設(shè)備是勻膠機(jī)，曝光機(jī) ，以及可編程熱板 PHP...2022-03-31 14:37:35
• 3D打印與“芯片上的實(shí)驗室”芯片的表面微加工、軟印、壓印 、注射成型、激光燒蝕等。這些加工過程需要在超凈間內(nèi)完成，并且工序復(fù)雜，所需空間也大，對設(shè)計與加工人員的經(jīng)驗依賴度高。與半...2017-11-28 15:28:48
• 微流控芯片制作的環(huán)境要求微流控芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內(nèi)完成。超凈間亦稱無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害成分、細(xì)菌等污染物排除，并對室內(nèi)溫度、照明、壓力、氣流...2016-12-08 17:34:23
• 潔凈室的構(gòu)成以及等級劃分標(biāo)準(zhǔn)爐區(qū)、等離子區(qū)、測試區(qū)等要求達(dá)到千級等級；光刻、勻膠、顯影工藝要求在百級超凈間進(jìn)行。微流控芯片加工實(shí)驗室通常要求在潔凈環(huán)境中，汶顥科技根據(jù)加工精度和客...2016-11-07 08:48:09