超凈間:超凈間(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。「超凈間」是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在的空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。 超凈間最主要的作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「超凈間」。

工業超凈間

以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。 它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。

生物超凈間

 主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、 一般生物超凈間，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業超凈間。例：制藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、生物學安全超凈間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。

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