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• 微流控芯片制作的環(huán)境要求微流控芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內(nèi)完成。超凈間亦稱無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害成分、細菌等污染物排除，并對室內(nèi)溫度、...2016-12-08 17:34:23
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• 微流控芯片制作與修飾1．經(jīng)典的光刻技術適合硅、玻璃、石英等材料，與傳統(tǒng)的半導體工業(yè)的方法一致。分為濕法和干法兩種，干法的分辨率較濕法高，相應的制造成本也高。2．模版澆注法...2016-05-27 13:53:09
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• 掩膜版、模具與微流控芯片及其制作方法與用途刻機：用于光刻膠的曝光和顯影。刻蝕機：用于刻蝕玻璃基片。掩膜版在微流控芯片制作中的應用掩膜版在微流控芯片的制作過程中起著至關重要的作用。它通過精確控...2025-12-18 12:40:31