1. 產品簡介

顯影機（WH-XY-01）是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品， 針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發的，可以對 7 英寸以下規格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環節，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控，最大程度上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。

      涂膠顯影機目前規格及型號：WH-XY-02顯影機（5寸）,WH-XY-01顯影機（7寸）

顯影機主要特點如下：

1）顯影池搖晃震蕩頻率可設定,保證顯影液與硅片等接觸充分，提高顯影效果與質量；

2）可根據顯影的載體進行精確設定顯影托盤升降位置，從而確定顯影液的進入添加量，避免顯影液的浪費；

3）顯影液可以自動添加與排放，靈活更換；

4）友好的人機界面設計，保證操作人員的使用體驗與安全；

5）便攜性好，方便在實驗室移動；

6）腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。

2.技術參數

震蕩方向：順時針/逆時針

轉速：110～250RPM

液量控制：50～500mL

適配硅片/芯片：3寸,4寸,5寸（WH-XY-02），3寸,4寸,5寸,6寸,7寸（WH-XY-01）

顯影時間：0～999s

進液速度：0～100%

電源輸入：AC220V±10V/50HZ

功率：150W

重量：14 kg

外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %

3. 特征圖解

4. 顯影機使用視頻指導

備注：如需了解產品價格及其他技術內容可咨詢我司客服。