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- Microchem SU-8光刻膠 2000系列光刻膠型號及參數(shù)光刻膠名稱型號勻膠厚度規(guī)格MicroChem SU-8 負膠SU-8 2000.50.5-0.8μm100ml;500ml;1L;1...2024-03-28 10:07:48
- 光刻工藝中的顯影技術(shù)光后的光刻膠含有很多酸性基團,所以顯影液一般為微堿性的溶液。負性光刻膠當(dāng)負膠受到曝光時,由于光敏基團的反應(yīng),光刻膠中的聚合物分子會交聯(lián)為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),使...2025-06-09 09:41:00
- 微流控中的烘膠技術(shù)交聯(lián)強度逐漸增強,這可以顯著提高光刻膠對堿性或有機溶劑的化學(xué)穩(wěn)定性。對于負膠,烘烤可能會導(dǎo)致光刻膠交聯(lián)程度增加,特別是在負膠工藝中使用的堅膜溫度高于...2025-01-07 10:20:54
- 光刻膠的一般特性介紹與光刻膠的選擇比或者lift-off層厚度加以綜合考慮。正膠的過曝過顯和負膠的過曝欠顯都會影響分辨率。烘烤溫度過高,使得光刻膠軟化流動也會破壞曝光圖...2024-07-10 09:14:55
- 光刻膠的圖形反轉(zhuǎn)圖形反轉(zhuǎn)膠是比較常見的一種紫外光刻膠,它既可以當(dāng)正膠使用又可以作為負膠使用。相比而言,負膠工藝更被人們所熟知。本文重點介紹其負膠工藝。應(yīng)用領(lǐng)域在反轉(zhuǎn)工藝下,通過適當(dāng)?shù)墓に噮?shù),可以獲得底切的側(cè)壁形態(tài)。這種方法的主要...2024-07-09 09:32:09
- 光刻膠去膠工藝常見。由于超短波輻射的穿透深度較低,所以只有光刻膠的表面受到交聯(lián)的影響。負膠在較高的溫度下處理其交聯(lián)可以通過后續(xù)的工藝步驟進一步加強,這步會導(dǎo)致光刻...2024-07-05 09:43:47
- 微流控芯片一般光刻工藝過程增大曝光劑量,也取決于需要的分辨率,最大的分辨率要求最高的曝光劑量。對于負膠未曝光區(qū)域顯影30~40s厚度1-2um對應(yīng)的清零曝光劑量,這個曝光劑量...2024-07-04 09:13:40
- 光刻膠后烘技術(shù)光刻膠的種類,通常在100-110℃的溫度下持續(xù)幾分鐘。圖形反轉(zhuǎn)膠和交聯(lián)負膠機理像AZ5214E這樣的圖形反轉(zhuǎn)膠在反轉(zhuǎn)工藝下需要在曝光后進行后烘工藝...2024-07-03 09:15:13
- 光刻膠顯影在化學(xué)性質(zhì)上與未暴光的區(qū)域不同,在特定的化學(xué)溶液中選擇性的保留曝光區(qū)域(負膠)或者未曝光區(qū)域(正膠)的過程。從而獲得最終所需的光刻膠結(jié)構(gòu)。在前面的一...2024-07-02 09:36:33
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