• 中國科學院光電技術研究所研制出實用深紫外光刻機學院光電技術研究所微電子專用設備研發團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機（Mask aligner），光刻分辨力達到500nm。　　光刻機因使...2017-07-28 16:03:16
• 紫外光刻機的工作條件 ?????? 紫外線光刻機是 印制板制造工藝中的重要設備。傳統光刻機的玻璃-邁拉曬架在生產過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經常更換。由于冷卻系統過...2015-01-30 16:02:14
• 掩膜板的制造和管理Electro Mechanical Systems，微機電系統）等。紫外光刻機、步進式光刻機等光刻設備上都需要使用掩膜版。掩膜板的掩蔽層一般為鉻（C...2024-08-01 10:02:30
• 基于流動聚焦微流控芯片的液晶微滴制備及傳感響應分析了微滴尺寸對檢測性能的影響。實驗儀器與試劑URE-2000 / 25 紫外光刻機；微注射泵；數顯鼓風干燥箱；等離子清洗儀；真空干燥箱；水浴鍋；電子天平...2023-12-29 11:00:24
• 基于液滴微流體的微流控芯片系統的研究s 壓力泵、硅片、SU-82025光膠、等離子清洗機、勻膠機、加熱臺、紫外光刻機、微流控芯片、PDMS實驗過程：液滴微流控芯片整合控制系統的搭建?激光...2023-11-14 10:18:22
• 處于中國軍民擔憂中的芯片制造機器。這種帶有數十億或數萬億個晶體管的晶片最終會被制成計算機芯片。國產雙面紫外光刻機一臺EUV機器由超過10萬個部件組成，成本約為1.2億美元，裝在40個...2022-12-01 10:59:39
• 一文看懂光刻機刻機使用的則是波長 13.5nm 的極紫外光。?早在上世紀九十年代，極紫外光刻機的概念就已經被提出， ASML 也從 1999 年開始 EUV 光刻機...2018-05-16 08:59:54
• 液滴微流控芯片系統中微液滴特性表征及氨基酸檢司；勻膠機購自中國科學院微電子研究所；加熱臺購自誼華電子設備有限公司；紫外光刻機購自中國科學院光電技術研究所；微流控芯片為自制PDMS芯片，PDMS購...2018-01-17 09:29:56
• URE-2000B型光刻機產品名稱： 中國光電URE-2000B型光刻機URE-2000B型紫外光刻機主要技術特點：　　 ?該機采用i線紫外曝光光源，光學系統采用特殊的消衍...2017-10-30 16:34:18
• SU-8光刻膠光刻工藝光刻膠進行前烘處理,在熱板上緩慢冷卻4) 在Karl Suss MA6紫外光刻機上進行接觸式曝光5) 對曝光后的SU-8光刻膠在熱板上進行后烘熱處理，...2017-10-09 17:36:09