微流控芯片是一個跨學(xué)科的新領(lǐng)域，是新世紀(jì)分析科學(xué)、微機(jī)電加工、生命科學(xué)、化學(xué)合成、分析儀器及環(huán)境科學(xué)等許多領(lǐng)域的重要發(fā)展前沿。微流控分析是以微管道為網(wǎng)絡(luò)連接微泵、微閥、微儲液器、微電級、微檢測元件等具有光、電和微流輸送功能的元器件，最大限度地把采樣、稀釋、加試劑、反應(yīng)、分離、檢測等分析功能集成在芯片上的微全分析系統(tǒng)。

微流控分析芯片材料可分為兩大類：剛性材料和彈性材料。

剛性材料：單晶硅、無定性硅、玻璃、石英等；剛性有機(jī)聚合物材料如環(huán)氧、聚脲、聚氨、聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯等；

彈性材料：二甲基硅氧烷（PDMS）。

微流控分析芯片材料的優(yōu)缺點分析：

1、單晶硅

優(yōu)點：具有化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定性；

      加工工藝成熟 ,可使用光刻和蝕刻等制備集成電路的成熟工藝進(jìn)行加工及批量生產(chǎn)；

缺點：易碎 ,價格貴；

      不能透過紫外光；

      電絕緣性能不夠好表面化學(xué)行為較復(fù)雜；

2、玻璃和石英

優(yōu)點：很好的電滲性質(zhì)；

          優(yōu)良的光學(xué)性質(zhì)；

          可用化學(xué)方法進(jìn)行表面改性可用光刻和蝕刻技術(shù)進(jìn)行加工；

缺點：難以得到深寬比大的通道加工成本較高；

          鍵合難度較大；

       3、有機(jī)聚合物

優(yōu)點：成本低、品種多；

      能通過可見與紫外光；

      可廉價大量地生產(chǎn)；

      可用化學(xué)方法進(jìn)行表面改性易于加工 ,可通過鑄造成型 ,激光濺射等方法得到深寬比大的能道；

缺點：不耐高溫；

      導(dǎo)熱系數(shù)低；

      表面改性的方法待進(jìn)一步研究；

      4、二甲基硅氧烷（PDMS）

優(yōu)點：能重復(fù)可逆變形不發(fā)生永性破壞 ,用模塑法高保真地制備微流控芯片 ,能透過 300nm 以上的紫外可見光 ,耐用且化學(xué)惰性 ,無毒 ,價廉；

缺點：不耐高溫；

      導(dǎo)熱系數(shù)低；

      表面改性的方法待進(jìn)一步研究；