PDMS指的是聚二甲基硅氧烷，它是常用的芯片材料。因聚合物表面具有惰性和憎水性 ,電滲流的大小和穩定性均低于玻璃或石英材料,使用前,通常需進行改性以增強表面的極性或親水性來提高和穩定電滲流。PDMS 改性中最常用的是等離子體改性 ,但等離子體氧化處理后的PDMS微芯片的電滲流極不穩定。