等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

在微電子封裝的生產過程中，由于指印、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等，器件和材料表面會形成各種沾污，包括有機物、環氧樹脂、焊料、金屬鹽等。這些沾污會明顯地影響封裝生產過程中的相關工藝質量。使用等離子體清洗可以很容易清除掉生產過程中所形成的這些分子水平的污染，保證工件表面原子與即將附著材料的原子之間緊密接觸，從而有效地提高引線鍵合強度，改善芯片粘接質量，減少封裝漏氣率，提高元器件的性能、成品率和可靠性。

1.等離子處理設備原理
等離子體處理設備由等離子發生器、氣體輸送系統及等離子噴頭等部分組成。等離子發生器產生高壓高頻能量在腔體中被電離產生低溫等離子體，借助氣流將低溫等離子體輸送到腔體外，當等離子體與被處理物體表面相遇時，使材料表面產生了化學變化和物理作用，其表面分子鏈結構得到了改變，建立了羥基、羧基等自由基團，這些基團對材料鍵合具有促進其粘合的作用，在封合和表面親水改性應用時得到了優化。在同樣效果下，應用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，不需其他機械、化學處理等任何強烈作用成分來增加粘合性。

2.等離子表面處理優點

·不帶電，可以處理各種材料和制品，包括塑料、玻璃、金屬或者帶有電子元件的產品；
·溫度低，適合應用于那些表面材料對溫度敏感的制品；
·不需要箱體，可以直接安裝在生產線上；
·只消耗空氣和電，因此運行成本低，操作更安全；
·不產生臭氧，沒有化學污染物排放，符合環保規范的要求。

3.等離子處理機主要用途
　?、俚入x子體表面處理：為了提高刀具、模具等的性能，可以用等離子體對金屬表面進行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點是,不是在表面加一覆蓋層,而是改變基體表面的材料結構及其性能。等離子處理機過程中，工件溫度比較低，不使工件變形，這對精密的部件很重要。這一方法可以應用于各種金屬基體，主要有輝光放電滲氮，氮碳共滲，滲硼。
　　②等離子體在電子工業中的應用：大規模集成電路片心的生產工藝，過去采用化學方式，采用等離子體方法代替之后，不僅降低了工藝過程中的溫度，還因將涂膠、顯影、刻蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法，使工藝更簡單，便于實現自動化，提高成品率。等離子體方法加工的片心分辨率及保真度都高，對提高集成度及可靠性均有利。

4.等離子體用于材料表面改性

①改變潤濕性（又稱浸潤性）。一些有機化合物表面的潤濕性對顏料、墨、粘結劑等的粘結性，對于材料表面的閃絡電壓及表面漏泄電流等電性能，都有很大的影響。衡量潤濕性的量稱為接觸角。

②增強粘附性。用等離子體活化氣體處理一些聚合物及金屬之后，可使材料與粘附劑的結合強度得到加強。原因可以是聚合物表面的交聯加強了邊界層的粘附力；或是等離子體處理過程中引入了偶極子而提高了聚合物表面粘附強度；也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污層，改善了粘附條件。電暈處理也有同樣效果。

③強化聚合物與聚合物的粘附。例如玻璃絲加強的環氧樹脂用氦等離子體處理后，與硫化橡膠的粘附增強233%。聚酯輪胎線經過等離子體處理(如NH3)后，與橡膠的粘附強度提高8.4倍。

汶顥股份提供常用等離子處理設備如：PDC-MG等離子清洗機、Harrick Plasma等離子清洗機、等離子體處理機等型號。